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真空器件的密封有兩種情況,一種是密封件把充滿液態介質的某一容器與外部真空空間分割開。在這種情況下,密封件的主要作用是防止液態介質漏入真空空間。另一種情況是密封件把真空內腔與外腔分割開,它的作用是保持要求的真空度。這種情況比較復雜,因為周圍氣體介質即使稍微漏入真空腔內,也會使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設備就可能損壞。在很多情況下,真空度和真空空間的潔凈,對真空條件下進行的各種工藝過程的質量有決定性的影響。 真空器件所使用的機械密封在結構上并無特殊之處。對于上述的一種情況,通常是采用氣密性好的金屬波紋管型單端面機械密封。二種情況則要用雙端面機械密封,若使用單端面密封,勢必存在密封端面不能獲得潤滑的問題。
真空泵配件技術要求
有足夠的強度和剛度
在工作條件下(如壓力、溫度和滑動速度等)不損壞,變形應盡量的小,工作條件波動時仍能保持密封性。尤其是密封端面要有足夠的強度以及一定的耐腐蝕能力,以保證產品有滿意的使用壽命。
有良好的耐熱沖擊能力
為此,要求材料有較高的導熱系數和較小的線膨脹系數,承受熱沖擊時不至于開裂。
較小的摩擦系數
密封環匹配應有較小的摩擦系數。
良好的自潤滑性
工作中如發生短時間的干摩擦,不損傷密封端面。因此,密封環要有良好的自潤滑性,密封環材料與密封流體還要有很好的浸潤性。
結構簡單
密封環結構應力求簡單對稱,優先考慮用整體型結構,也可采用組合式(如鑲裝式)密封環,盡量避免用密封端面噴涂式結構。
密封環要容易加工制造
安裝和維修要方便,價格要低廉。
原理概述
機械密封是靠一對或數對垂直于軸作相對滑動的端面在流體壓力和補償機構的彈力(或磁力)作用下保持貼合并配以輔助密封而達到阻漏的軸封裝置。
常用機械密封結構由靜止環(靜環)、旋轉環(動環)、彈性元件彈簧座、緊定螺釘、旋轉環輔助密封圈和靜止環輔助密封圈等元件組成,防轉銷固定在壓蓋上以防止靜止環轉動。
旋轉環和靜止環往往還可根據它們是否具有軸向補償能力而稱為補償環或非補償環。